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分子束外延(MBE) 

发布时间:2017/05/24

  分子束外延(MBE)是一种可在原子尺度上精确控制外延厚度、掺杂和界面平整度的超薄层薄膜制备技术,是在一定的单晶体材料衬底上,沿着衬底的某个指数晶面向外延伸生长一层单晶薄膜。外延单晶薄膜在纯度和性能上有比体单晶材料有明显的改善,而且用外延术可以制造很难用其他方法制造的大面积或特殊材料的单晶薄膜。